Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой.
Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.
1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.
2. Технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.
3. Запустите электропечь, одновременно автоматически заработает вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.
4. Автоматическое отключение питания, функция защиты от перегрева, функция защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.
5. Схема использует непрерывный режим нагрева, двухконтурный источник питания и раздельная проводка сильного и слабого тока улучшают стабильность системы.
6. Нагревательный модуль использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.
7. Автоматическая компенсация эффекта контроля температуры, вызванного температурой или старением, при изменении значения сопротивления стержня из карбида кремния, что позволяет избежать неточности и опасности искусственной регулировки.
8. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)
9. Функция переключения автоматического управления и ручного управления, режим автоматического управления может автоматически включать / выключать вакуумный насос через заданное значение, чтобы удерживать контейнер в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)
10 Технология медленного пуска электромагнитного клапана, так что электромагнитный клапан открывается через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в система труб печи, влияющая на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)
Модель | CVD-LTF14P40 | CVD-LTF14P50 | CVD-LTF14P60 | CVD-LTF14P80 |
CVD-LTF14T40 | CVD-LTF14T50 | CVD-LTF14T60 | CVD-LTF14T80 | |
Диапазон рабочих температур | 300~1400℃ | |||
Температурное разрешение | 1℃ | |||
Контроль температуры | ± 1℃ | |||
Степень нагрева | 0~20℃/мин | |||
Длина зоны нагрева | 200mm | 400mm | ||
Длина зоны постоянной температуры | 70mm | 140mm | ||
степень вакуума | -0,1 МПа | |||
Время нагрева пустой печи | ≤15мин | |||
Скорость нагрева при настройке печной трубы | Ниже 500℃ ≤5℃/мин；500-1000≤10℃/мин；1000-1200≤5℃/мин；1000-1400≤2℃/мин | |||
Внешний вид | Лист стальной холоднокатаный с химически стойким покрытием на поверхности | |||
Корпус печи | Поликристаллическое муллитовое волокно | |||
Размер печи | 360*350*350mm | 560*350*350mm | ||
Трубка печи | Корундовая трубка | |||
Размер трубы печи | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 |
Обогреватель | Стержень из карбида кремния | |||
Мощность нагрева | 3KW | 5KW | ||
Теплоизоляционный слой | Двухслойный принудительный отвод воздуха | |||
Открытый путь | Нет | |||
Контроллер | P: цифровой дисплей контроля температуры импортированной программы; T: 7-дюймовый цветной сенсорный экран программный контроль температуры | |||
Метод управления | Использование ПИД-регулятора микрокомпьютера | |||
Как установить | P: коснитесь пяти кнопок для действия, настройки цифрового дисплея; T: Коснитесь пальцем и коснитесь, чтобы установить | |||
Метод отображения | P: двухстрочный светодиодный цифровой дисплей; T: цветной ЖК-дисплей | |||
Сроки | 0~999,9 часов | |||
Функция запуска | Работа с фиксированным значением, программная работа | |||
Программный режим | P: работа программы, 4 кривых, всего 40 шагов; T: 50 шагов могут вызвать сохраненную программу | |||
Датчик | Термопара типа S | |||
Вспомогательная функция | P: функция коррекции; T: функция коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на U-диск | |||
Спасательное оборудование | Выключатель защиты от перегрузки по току | |||
Количество воздушных путей | 3 канала (количество эфирных каналов можно выбрать в соответствии с конкретными потребностями) | |||
Диапазон расхода | 0-0500sccm (стандартный мл/мин, опционально) стандарт азота | |||
Точность | ±1% полной шкалы | |||
Время отклика | ≤4 с | |||
Рабочая температура (расходомер) | 5-45℃ | |||
Рабочее давление | Давление на входе 0,05-0,3 МПа (избыточное давление) | |||
Системное подключение | Применение сильфонов быстрого соединения KF, ручного откидного клапана высокого вакуума и вакуумного измерительного прибора с цифровым дисплеем. | |||
Диапазон вакуума системы | 10-100Па | |||
Вакуумный насос | Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10-1Па, скорость откачки - 4 л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное напряжение - 200 В, мощность - 0,55 кВт. | |||
Конфигурация системы ССЗ | Вакуумная трубчатая печь 1400 градусов Многоканальная система управления массовым расходом Вакуумная система | |||
У нас есть стандартный производственный цех и полная производственная команда. Они всегда производят серьезное и ответственное отношение к производству каждого продукта. Наша команда по исследованиям и разработкам состоит из многопрофильных профессиональных инженеров, таких как инженер-конструктор, специалист по технологиям, квалифицированный специалист, менеджер по управлению технологическим процессом и т. д. Наши квалифицированные специалисты строго осуществляют комплексный надзор за технологическим процессом на основе нашей системы контроля качества, которая включает дизайн продукции. , исследования и разработки, испытания, производство, контроль качества и упаковка.
Наши лабораторные инструменты и оборудование используются во многих научных лабораториях, научно-исследовательских учреждениях, университетах, больницах, центрах по контролю заболеваний и других учреждениях, а также в сочетании со многими известными биофармацевтическими компаниями, компаниями, занимающимися новой энергией, электроникой, пищевой промышленностью, защита окружающей среды и т. д. Сотрудничество с предприятиями, наша стабильная и надежная продукция экспортируется в более чем 120 стран мира и получила высокое признание, поверьте LABOAO, мы растем вместе!
