1600°C Вакуумно-атмосферная трубчатая печь CVD-система

1600°C Вакуумно-атмосферная трубчатая печь CVD-система
Система CVD с вакуумной/атмосферной трубчатой печью 1600 ° C (CVD-TF) обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой и используется в полупроводниковой, нанотехнологической, оптоволоконной и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, испытание проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктуры ZnO, спекание керамического конденсатора (MLCC) в атмосфере и другие эксперименты.
  • модельCVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
  • маркаLABOAO
  • портЛюбой порт в Китае
  • пакетФанерный футляр
Оплата Мы также поддерживаем L / C, D / A, D / P, Western Union, MoneyGram, Обнаруживать платежи для автономных заказов.


ОПИСАНИЕ

Система CVD с вакуумной/атмосферной трубчатой печью 1600 ° C (CVD-TF) обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой и используется в полупроводниковой, нанотехнологической, оптоволоконной и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, испытание проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктуры ZnO, спекание керамического конденсатора (MLCC) в атмосфере и другие эксперименты.

ФУНКЦИИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.

2. Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.

3. При запуске электрической печи одновременно автоматически включается вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.

4. Дверца печи открывается с автоматическим отключением питания, функцией защиты от перегрева и функцией защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Схема использует режим непрерывного нагрева, двухконтурный источник питания и раздельную проводку сильного и слабого тока, что повышает стабильность системы.

6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.

7. Низковольтные металлические кнопки используются для кнопок управления, с индикаторами состояния, безопасным и интуитивно понятным управлением.

8. Верхний и нижний корпуса печи соединяются авиационными штекерами, которые безопасны, надежны и удобны в подключении.

9. Узел газового контура изготовлен из пищевой нержавеющей стали 316, которая обладает коррозионной стойкостью, стойкостью к атмосферной коррозии и высокой термостойкости, а также немагнитна.

10. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)

11. Автоматическое управление и функция переключения ручного управления, режим автоматического управления может автоматически открывать / закрывать вакуумный насос через заданное значение, так что контейнер может поддерживаться в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

12. Технология медленного пуска соленоидного клапана открывает соленоидный клапан через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в печь. система трубок для воздействия на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)

13. Сигнализация перегрева, блокировка меню, предотвращение перегрева, задержка восстановления питания.

14. Используя технологию одностороннего клапана, поток газа контролируется в пределах контролируемого диапазона давления для обеспечения безопасности.

15. Принято устройство резервуара для смешивания газа, так что газ может быть введен в рабочее помещение после полного смешивания, чтобы гарантировать, что он не будет просачиваться.

СПЕЦИФИКАЦИЯ

Модель

CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60

CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S

CVD-LTF16P100S

CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60

CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S

CVD-LTF16T100S

Диапазон рабочих температур

300~1600

Температурное разрешение

1

Контроль температуры

± 1

Степень нагрева

0~20/мин

Длина зоны нагрева

260mm

600mm

Длина зоны постоянной температуры

120mm

300mm

степень вакуума

-0,1 МПа

Время нагрева пустой печи

<15 мин.

Внешний вид

Лист стальной   холоднокатаный с химически стойким покрытием на поверхности

Корпус печи

Поликристаллическое муллитовое волокно

Размер печи

440*390*330

780*390*330

Трубка печи

Корундовая трубка

Размер трубы печи

φ50*1000

φ60*1000

φ80*1000

φ100*1000

φ60*1200

φ80*1200

φ100*1200

Обогреватель

Кремний-молибденовый стержень

Мощность нагрева

4KW

4KW

10KW

10KW

Теплоизоляционный слой

Двухслойный принудительный отвод   воздуха

Контроллер

P: цифровой   дисплей контроля температуры импортированной программы; T: 7-дюймовый   цветной сенсорный экран программный контроль температуры

Метод управления

Используйте   ПИД-регулятор микрокомпьютера / раздельный контроль температуры с двумя   температурными зонами S-типа

Как установить

P: коснитесь пяти   кнопок для действия, настройки цифрового дисплея; T: коснитесь   пальца, чтобы установить

Метод отображения

P: двухстрочный   светодиодный цифровой дисплей; T: цветной ЖК-дисплей

Сроки

0~999,9 часов

Функция запуска

Работа с   фиксированным значением, программная работа

Программный режим

P: Работа   программы, 4 кривые, всего 40 шагов; T: 50 шагов могут   вызвать сохраненную программу

Датчик

Термопара типа S

Вспомогательная функция

P: функция   коррекции; T: функция   коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на U-диск

Спасательное оборудование

Выключатель защиты от перегрузки по току

Переключатель защиты от перегрузки по току

Количество воздушных путей

3 канала   (количество эфирных каналов можно выбрать в соответствии с конкретными   потребностями)

Диапазон расхода

0-0500sccm (стандартный   мл/мин, опционально) стандарт азота

Точность

±1% полной шкалы

Время отклика

≤4 с

Рабочая температура (расходомер)

5-45

Рабочее давление

Давление на входе   0,05-0,3 МПа (избыточное давление)

Системное подключение

Применение   сильфонов быстрого соединения KF, ручного откидного клапана высокого вакуума и   вакуумного измерительного прибора с цифровым дисплеем.

Диапазон вакуума системы

10-100Па

Вакуумный насос

Теоретическая   предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10-1Па, скорость   откачки - 4 л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное   напряжение - 200 В, мощность - 0,55 кВт.

Конфигурация системы ССЗ

Вакуумная   трубчатая печь на 1600 градусов (опционально: одна температурная зона, двойная   температурная зона) Многоканальная система управления массовым потоком   Вакуумная система

ПОЧЕМУ ВЫБРАЛИ НАС

  1. Прямые продажи с завода по конкурентоспособной цене.
  2. Премиум-качество с сертификацией CE и ISO.
  3. Широкие возможности настройки OEM и ODM продукта.
  4. Обещаем производство и своевременную доставку.
  5. Отличное послепродажное обслуживание, бесплатные аксессуары.
  6. 15-летний опыт исследований и разработок и производства вакуумная атмосферная трубчатая печь машины.
laboao certification

НАШ ЗАВОД

У нас есть стандартный производственный цех и полная производственная команда. Они всегда производят серьезное и ответственное отношение к производству каждого продукта. Наша команда по исследованиям и разработкам состоит из многопрофильных профессиональных инженеров, таких как инженер-конструктор, специалист по технологиям, квалифицированный специалист, менеджер по управлению технологическим процессом и т. д. Наши квалифицированные специалисты строго осуществляют комплексный надзор за технологическим процессом на основе нашей системы контроля качества, которая включает дизайн продукции. , исследования и разработки, испытания, производство, контроль качества и упаковка.

laboao factory

ПРИМЕРЫ КЛИЕНТОВ

Наши лабораторные инструменты и оборудование используются во многих научных лабораториях, научно-исследовательских учреждениях, университетах, больницах, центрах по контролю заболеваний и других учреждениях, а также в сочетании со многими известными биофармацевтическими компаниями, компаниями, занимающимися новой энергией, электроникой, пищевой промышленностью, защита окружающей среды и т. д. Сотрудничество с предприятиями, наша стабильная и надежная продукция экспортируется в более чем 120 стран мира и получила высокое признание, поверьте LABOAO, мы растем вместе!

laboao customer cases

Запрос этого продукта